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        無塵室工程操作須知

        無塵室工程操作須知

        1. 處理芯片時,必須戴上無纖維手套,使用清洗過的干凈鑷子挾持芯片,請勿以手指或其它任何東西接觸芯片,遭碰觸污染過的芯片須經清洗,方得繼續使用:
        (1) 任何支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過,或是鑷子掉落地上,必須拿去清洗請勿用紙巾或布擦拭臟鑷子。
        (2) 芯片清洗后進行下程序前,若被手指碰觸過,必須重新清洗。
        (3)把芯片放置于石英舟上,準備進爐管時,若發現所用鑷子有污損現象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染,必須將芯片重新清洗,并立即更換干凈的鑷子使用。

        2. 芯片必須放置盒中,蓋起來存放于規定位置,盡可能不讓它暴露。

        3.避免在芯片上談話,以防止唾液濺于芯片上,在芯片進擴散爐前,請特別注意,防止上述動作產生,若芯片上沾有纖維屑時,用氮氣槍噴之。

        4. 從鐵弗龍(Teflon)晶舟,石英舟(QuartzBoat)等載具(Carrier)上,取出芯片時,必須垂直向上挾起,避免刮傷芯片,顯微鏡鏡頭確已離芯片,方可從吸座上移走芯片。

        5. 芯片上,若已長上氧化層,在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記。

        6. 操作時,不論是否戴上手套,手絕不能放進清洗水槽。

        7. 使用化學站或烤箱處理芯片時,務必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內,不可使用塑料盒。

        8. 擺置芯片于石英舟時,若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片,然后再進氧化爐。

        9. 請勿觸摸芯片盒內部,如被碰觸或有碎芯片污染,必須重作清洗。

        10. 手套,廢紙及其它雜碎東西,請勿留置于操作臺,手套若燒焦、磨破或纖維質變多必須換新。

        11. 非經指示,絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關閥控制鈕或把手。

        12. 奇怪的味道或反應異常的溶液,顏色,聲響等請即通知相關人員。

        13. 儀器因操作錯誤而有任何損壞時,務必立刻告知負責人員或老師。

        14. 芯片盒進出無塵室須保持干凈,并以保鮮膜封裝,違者不得進入。

        15. 無塵室內律使用原子筆及無塵筆記本做記錄,般紙張與鉛筆不得攜入。

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